Суво збивање на полупроводнички полупроводници на трихлорид полупроводник
Вовед во производ
На нормална температура и притисок, борниот трихлорид (Bcl 3 ) е безбоен чад гас, кој е запалив, лут, кисел мирис. Борн трихлорид се распаѓа во хлороводородна киселина и борна киселина и ослободува многу топлина кои се среќаваат со вода, создава чад во влажен воздух заради хидролиза, а Bcl 3 се распаѓа во хлороводородна киселина и естер на борна киселина кај алкохол. Борн трихлорид има силна способност за реакција и може да формира различни координативни соединенија. Борн трихлорид може да реагира со стакло и керамика кога се загрева, а исто така реагира со многу органски соединенија за да формираат различни соединенија на органоборон. Трихлорид со висока чистота Boron11 главно се користи за дифузија допинг во процесот на производство на (силиконски) полупроводнички уреди. Нечистотиите на бор се генерираат преку распаѓање на Bcl 3 и се дифузни кон силикон за да се формира полупроводник од типот P на висока температура. Bcl 3 може да се користи и за суво гравирање на Al, MOSI 2 , TASI 2 , Tisi 2 , WSI и други материјали.
Спецификација на квалитет
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Апликација
Борн трихлорид може да се користи за производство на високи чисти бор, катализатор за органска синтеза, флуксирање на агент за силикатно распаѓање, а исто така се користи како додаток на деоксидатор, нитриди и карбиди при рафинирање на легури. Трихлорид со висока чиста бор11 главно се користи во дифузија допинг, јонска имплантација, суво гравирање и други процеси во уредите на полупроводници и интегрирано производство на кола.
Пакување и складирање
Boron11 трихлорид се полни во цилиндерот. Цилиндерот исполнет со трихлорид Boron11 е во согласност со релевантните одредби на GB14193. Спецификациите за пакување вклучуваат 10L и 47L. Производот се чува во засенчена, суво и вентилирана продавница под 60 . Забрането е да се изложи на сонце и да се држи подалеку од изворите на топлина. Пакетот мора да биде запечатен и треба да се чува одделно со алкални и други опасни написи.
Contact Now
